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MEMS乙醇氣體傳感器是利用MEMS工藝來(lái)檢測環(huán)境中乙醇氣體濃度的氣體檢測儀。MEMS乙醇氣體傳感器的微熱板是采用MEMS工藝制作，并以在清潔空氣中電導率較低的金屬氧化物半導體材料作為氣敏材料。該乙醇傳感器功耗低，工作時(shí)基本沒(méi)有熱輻射，不影響周邊溫度濕度檢測。適用于除惡劣環(huán)境外檢測乙醇氣體濃度的場(chǎng)合。
檢測氣體：乙醇
乙醇測量范圍：0-500ppm
乙醇測量靈敏度S：RO/RS≥2
乙醇濃度斜率a：≤0.9
回路電壓Vc：≤24V DC
加熱電壓VH：2.8V士0.1V AVorDC
負載電阻RL：可調
加熱電阻RH：80?土20?(室溫)
加熱功耗PH：≤80mW
敏感體電阻Rs：1K?~30K?
溫度：20°C士2°C
濕度：55%RH土5%RH
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