MEMS氫氣氣體傳感器

產(chǎn)品介紹：

MEMS氫氣氣體傳感器采用了微型化設計，用于監測應用環(huán)境中氫氣氣體濃度。MEMS氫氣氣體傳感器采用在清潔空氣中電導率較低的金屬氧化物半導體材料作為氣敏材料，利用MEMS工藝在SI基襯底上制作微熱板。該氫氣傳感器使用簡(jiǎn)單的電路即可將電導率的變化轉換為與氫氣氣體濃度相對應的輸出信號。

產(chǎn)品特點(diǎn)：

1、微型化設計

MEMS氫氣氣體傳感器的產(chǎn)品體積小、諧振頻率高、功耗低、響應時(shí)間短，表面體積比高可以提高表面傳感器的敏感程度。

2、高度集成

可把不同功能、不同敏感方向或致動(dòng)方向的多個(gè)傳感器或執行器集成于一體，形成微傳感器陣列、微執行器陣列。

3、高/低溫工作適應性好

產(chǎn)品功耗低，工作時(shí)基本沒(méi)有熱輻射，不影響周邊溫度濕度檢測。