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精訊暢通的MEMS氣體傳感器所使用的氣敏材料是在清潔空氣中電導率較低的金屬氧化物半導體材料，利用MEMS工藝在SI基襯底上制作微熱板。當環(huán)境空氣中有被檢測氣體存在時(shí)，MEMS氣體傳感器的電導率就會(huì )發(fā)生變化。被測氣體的濃度越高，MEMS傳感器的電導率就越高。使用簡(jiǎn)單的電路即可將電導率的變化轉換為與該氣體濃度相對應的輸出信號。
1、微型化設計
MEMS傳感器的體積小、諧振頻率高、功耗低、響應時(shí)間短，表面體積比高可以提高表面傳感器的敏感程度。
2、高度集成
可把不同功能、不同敏感方向或致動(dòng)方向的多個(gè)傳感器或執行器集成于一體，形成微傳感器陣列、微執行器陣列。
3、高/低溫工作適應性好
產(chǎn)品功耗低，工作時(shí)基本沒(méi)有熱輻射，不影響周邊溫度濕度檢測。
回路電壓Vc：≤24V DC
加熱電壓VH：2.8V士0.1V AVorDC
負載電阻RL：可調
加熱電阻RH：80?土20?(室溫)
加熱功耗PH：≤80mW
敏感體電阻Rs：1K?~30K?
靈敏度S：RO/RS≥2
濃度斜率a：≤0.9
溫度：20°C士2°C
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