MEMS二氧化氮氣體傳感器

產(chǎn)品介紹：

MEMS二氧化氮氣體傳感器是利用微電子和微機械加工技術(shù)來(lái)檢測二氧化氮氣體濃度的氣體傳感器。MEMS二氧化氮氣體傳感器采用在清潔空氣中電導率較低的金屬氧化物半導體材料作為氣敏材料，對二氧化氮氣體的靈敏度高。該二氧化氮傳感器具有體積小、質(zhì)量輕、成本低、功耗低、可靠性高、技術(shù)附加值高等特點(diǎn)。

產(chǎn)品特點(diǎn)：

1、微型化設計

MEMS氣體傳感器的體積小、諧振頻率高、功耗低、響應時(shí)間短，表面體積比高可以提高表面傳感器的敏感程度。

2、高度集成

可把不同功能、不同敏感方向或致動(dòng)方向的多個(gè)傳感器或執行器集成于一體，形成微傳感器陣列、微執行器陣列。

3、高/低溫工作適應性好

MEMS氣體傳感器在工作時(shí)基本沒(méi)有熱輻射，不影響周邊溫度濕度檢測。